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晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制

產品簡介

晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制產品用途范圍:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,,電工產品、材料石英晶體振蕩器,混合集成電路板、零備件等高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗等應用。

產品型號:
更新時間:2025-09-09
廠商性質:生產廠家
訪問量:2423
詳細介紹在線留言

晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內部光亮整潔,自身潔凈不產塵。

產品主要技術參數:

   

千級潔凈烘箱

   

SKCOL-9070A*4

工作室尺寸

W400 * D350 * H500 MM

總消耗功率

2.0 KW

潔 凈 度

Class 100

(立方英尺0.5UM顆粒數小于100,立方米0.5UM顆粒數小于3520

積(L

70 L

 

RT+20 +250

P.I.D控溫 三色燈,急停按鈕

設備技術指標                                                                            

項目

內容

工作室容積

400mm×350mm×500mm (W寬×D深×H高)

工作溫度范圍

RT+20 +250

升溫速率

5/min (空載,非線性)

溫度偏差

≤±1(空載,恒定狀態時)

溫度精度/分辨率

±0.1

溫度波動度

±1(空載,恒定狀態時)

溫度均勻性

±1.5%(空載,恒定狀態時) 200℃時誤差為±3

時間定時范圍

0 – 9999 小時,分鐘,秒

潔凈等級

Class100

立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000

總功率

2.5 KW

電源

220V 50Hz (三相五線)

電源線

2.5

箱體結構系統                                                                      

項目

內容

結構方式

整體結構采用單門立式結構,控制柜位于箱體上方,外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑,工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內部光亮整潔,自身潔凈不產塵。

材料構成

1.外壁材料:1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑,顏色為工業白。

2.內壁材料:2.0mmSUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

3.絕熱材料:100mm120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。

結構強度

箱底板承重能力:≤130Kg(均勻負載)

柜門

1.單開門結構,門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。

2.拉手采用拉桿式安全防爆拉手。

備注:干燥箱工作室內部經過堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應使用無紡無塵布擦拭工作室內部及隔板。

                                                       

項目

內容

配置

1.風道位于箱體頂部與背部,高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內部。

2.熱風經過H.E.P.A進入干燥箱內部,再循環至頂部進入風道,往復循環。

3.三相異步長軸耐高溫長軸馬達,帶相序保護,超溫過流保護。

4.不銹鋼渦輪扇葉,出廠經動平衡調校,確保送風平穩。

5.排風口:不銹鋼排風管,帶自動風閥,排風管位于箱體背部。

工作方式

設備啟動,鼓風裝置持續運行,箱內熱風循環。

過濾系統

項目

內容

配置

1.耐高溫高效過濾器,過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um

2.采用進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫350℃,鋁箔隔層,陶瓷膠密封

3.邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條

工作方式

設備啟動,熱風循環啟動,熱風通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。

安全保護系統                                                                            

項目

內容

工作室

獨立式工作室超溫保護器

加熱系統

欠壓、超壓保護.過流保護.加熱器斷線保護.超溫保護

熱風循環系統

相序保護.缺相,欠壓保護.過熱,過載,過流保護

電源系統

電源缺相及相序錯誤保護.漏電保護.加熱器超溫保護.加熱器短路過流保護

其他

設備外殼接地保護,電磁門禁系統
















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