無氧烤箱 晶圓封裝充氮潔凈烘箱

型    號

SKCOL-9070A*4

工作室尺寸

W400 * D350 * H500 MM

總消耗功率

2.0 KW

潔 凈 度

Class 100

（立方英尺0.5UM顆粒數小于100，立方米0.5UM顆粒數小于3520）

容 積（L）

70 L

溫   度

RT+20 ～ +250℃

配 置

P.I.D控溫 三色燈，急停按鈕

工作室容積

（400mm×350mm×500mm ）(W寬×D深×H高）

工作溫度范圍

RT+20 ～ +250℃

升溫速率

5℃/min （空載，非線性）

溫度偏差

≤±1℃(空載，恒定狀態時)

溫度精度/分辨率

±0.1℃

溫度波動度

±1℃(空載，恒定狀態時)

溫度均勻性

±1.5%(空載，恒定狀態時) 200℃時誤差為±3℃

時間定時范圍

0 – 9999 小時，分鐘，秒

潔凈等級

Class100

立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000

總功率

2.5 KW

電源

220V 50Hz （三相五線）

電源線

2.5米

結構方式

整體結構采用單門立式結構，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內部光亮整潔，自身潔凈不產塵。

材料構成

1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑，顏色為工業白。

2.內壁材料：2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

3.絕熱材料：100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。

結構強度

箱底板承重能力：≤130Kg（均勻負載）

柜門

1．單開門結構，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。

2．拉手采用拉桿式安全防爆拉手。

配置

1．風道位于箱體頂部與背部，高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內部。

2．熱風經過H.E.P.A進入干燥箱內部，再循環至頂部進入風道，往復循環。

3．三相異步長軸耐高溫長軸馬達，帶相序保護，超溫過流保護。

4．不銹鋼渦輪扇葉，出廠經動平衡調校，確保送風平穩。

5．排風口：不銹鋼排風管，帶自動風閥，排風管位于箱體背部。

工作方式

設備啟動，鼓風裝置持續運行，箱內熱風循環。

配置

1．耐高溫高效過濾器，過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um）

2．采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封

3．邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條

工作方式

設備啟動，熱風循環啟動，熱風通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。

工作室

獨立式工作室超溫保護器

加熱系統

欠壓、超壓保護.過流保護.加熱器斷線保護.超溫保護

熱風循環系統

相序保護.缺相，欠壓保護.過熱，過載，過流保護

電源系統

電源缺相及相序錯誤保護.漏電保護.加熱器超溫保護.加熱器短路過流保護

其他

設備外殼接地保護，電磁門禁系統